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鉭管適用于哪些電子工業場景,其在半導體制造中的作用原理是什么?

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鉭管適用于半導體制造、電子管制造等電子工業場景。在半導體制造中,鉭管可用于制造離子注入機零件等。其作用原理主要是利用鉭的高熔點、良好的耐腐蝕性和導電性,能夠在高溫、高真空等苛刻環境下穩定工作,保證離子注入過程的準確性和穩定性,同時抵抗工藝過程中可能遇到的腐蝕性氣體和化學試劑的侵蝕。


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