鈮鋯合金管在氫氟酸環境中的耐腐蝕機制？

添加 2.5% Zr 后，形成致密的 Nb?O?-ZrO?復合氧化膜，在 40% 氫氟酸中腐蝕速率從 0.1mm / 年降至 0.01mm / 年，壽命延長 10 倍，用于半導體芯片蝕刻設備管道。

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