藍寶石長晶用鈮坩堝的缺陷控制技術？

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通過表面電解拋光（電壓 20V / 時間 30min）+ 納米金剛石涂層（厚度 2μm），使坩堝內壁粗糙度 Ra≤0.1μm，藍寶石晶體位錯密度從 10?/cm2 降至 10?/cm2，用于三安光電 LED 襯底生產。

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