鈦摻雜氮化硼（h-BN:Ti）的介電常數(shù)調(diào)控范圍？?

通過離子注入（劑量1×101? cm?2），介電常數(shù)從4.5調(diào)節(jié)至7.2，介電損耗tanδ＜0.002（1MHz）。

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