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為什么用氬氣用于濺射?

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惰性氣體,特別是氬氣,通常被用作濺射氣體,因為它們不與目標材料反應(yīng)或與任何工藝氣體結(jié)合,并且由于其分子量高而產(chǎn)生更高的濺射和沉積速率。

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