離子注入主要部件有哪些?

離子注入機的主要部件包括以下幾個部分：

1. 離子源：離子源是離子注入機的主要組成部分，它的作用是將需要注入的元素氣態粒子電離成離子，并決定要注入離子的種類和束流強度。常見的離子源有熱陰極電離源、場致發射源、PIG離子源等。

2. 離子引入和質量分析器：離子引入和質量分析器的作用是將離子源產生的離子引入到主真空室中，并對離子進行質量選擇和分析，以確保只有所需種類的離子能夠進入加速管。

3. 加速管：加速管的作用是將離子加速到一定的能量，以使其能夠深入到材料表面。加速管的電壓取決于需要注入的離子的種類和能量。

4. 掃描系統：掃描系統的作用是將離子束按照設定的軌跡掃描，以保證離子束能夠均勻地注入到材料表面。

5. 工藝腔：工藝腔是離子注入機中用于放置需要注入離子的工件的空間，它通常由高真空不銹鋼材料制成。

此外，離子注入機還配有控制系統和電源系統等輔助設備，以實現對注入過程的各種參數進行控制和監測。