離子注入-鎢鉬配件的作用是什么？

離子注入通常需要在離子注入設備中使用特殊的配件，例如鎢鉬（tungsten-molybdenum）配件。這些配件在離子注入過程中發揮著關鍵的作用，主要包括以下幾個方面：

作為離子束的導向器：離子注入過程中，離子束需要被準確地引導到半導體樣品表面。鎢鉬配件通常用作離子束的導向器或調節器，確保離子束的準確聚焦和定位。

耐高溫性能：離子注入過程中會產生高溫，而鎢鉬具有出色的耐高溫性能，能夠在高溫環境下保持穩定性，不易發生形變或熱損傷，確保設備的長期穩定運行。

化學惰性：離子注入設備中的配件需要具有良好的化學惰性，以確保在化學環境下不發生腐蝕或化學反應。鎢鉬具有良好的化學穩定性，不易與其他材料發生反應，因此適用于離子注入設備的制造。

機械強度：離子注入設備中的配件需要具有足夠的機械強度和耐磨性，以抵御離子束的沖擊和設備運行過程中可能發生的機械磨損。鎢鉬具有較高的機械強度和硬度，能夠在離子注入設備中承受較大的壓力和摩擦。