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不同規格的鉬舟適用于哪些具體的行業場景?

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半導體行業

小尺寸高精度鉬舟:尺寸一般在幾厘米到十幾厘米,形狀規則,精度要求高。如 5cm×3cm×1cm 的小型鉬舟,適用于半導體芯片制造中的物理氣相沉積(PVD)工藝,用于蒸發金屬薄膜,如鋁、銅等,形成芯片的電極、互連線路等結構。

大尺寸高承載鉬舟:尺寸可達幾十厘米甚至更大,承載能力強。如 30cm×20cm×5cm 的大型鉬舟,可用于半導體晶圓的批量鍍膜,能夠同時處理多個晶圓,提高生產效率,適用于大規模集成電路制造中的鍍膜工藝。

光學鍍膜行業

定制形狀鉬舟:根據不同的光學元件形狀和鍍膜要求,設計成特殊形狀的鉬舟。如弧形、環形鉬舟,用于光學鏡片、棱鏡等元件的鍍膜,能夠保證鍍膜材料均勻地沉積在光學元件表面,提高光學性能,滿足不同光學系統對鏡片反射率、透過率等指標的要求。

中等尺寸鉬舟:尺寸通常在 10cm×8cm×2cm 左右,適用于小型光學元件的鍍膜,如手機攝像頭鏡片、望遠鏡鏡片等,可在較小的鍍膜設備中使用,實現高精度的光學鍍膜。

太陽能電池行業

寬幅鉬舟:寬度較大,一般在 15 - 25cm,長度根據需要可在 20 - 50cm 左右,適用于太陽能電池板的鍍膜工藝,用于蒸發透明導電氧化物(TCO)薄膜等,能夠在較大面積的太陽能電池基板上均勻鍍膜,提高電池的光電轉換效率。

高穩定性鉬舟:具有良好的耐高溫和抗變形性能,在太陽能電池生產的高溫鍍膜過程中,能夠保持穩定的形狀和性能,確保鍍膜質量,適用于 CIGS(銅銦鎵硒)等薄膜太陽能電池的生產。

電子器件行業

微型鉬舟:尺寸極小,可能僅有 1 - 2cm,用于蒸發有機材料或金屬有機物,制造有機發光二極管(OLED)、量子點發光二極管(QLED)等新型顯示器件中的發光層或功能層,實現高精度的有機材料沉積,提高顯示器件的發光性能和色彩表現。

通用型鉬舟:尺寸在 8cm×6cm×3cm 左右的通用規格鉬舟,可廣泛應用于電子器件制造中的各種鍍膜工藝,如電容器、電阻器等元件的表面鍍膜,用于改善元件的性能和穩定性。

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