半導(dǎo)體熔煉坩堝有哪些？

半導(dǎo)體熔煉坩堝是用于半導(dǎo)體晶體生長的關(guān)鍵設(shè)備，通常由高溫陶瓷材料制成，能夠承受高溫和化學(xué)腐蝕。常見的半導(dǎo)體熔煉坩堝包括以下類型：

1. 石英坩堝：石英是一種高純度的無機(jī)材料，它具有出色的耐高溫和化學(xué)穩(wěn)定性。石英坩堝常用于硅單晶生長中。

2. 氧化鋯坩堝：氧化鋯是一種高溫陶瓷材料，它具有高強(qiáng)度、高耐磨性和良好的耐化學(xué)性。氧化鋯坩堝通常用于生長氮化鎵等化合物半導(dǎo)體材料。

3. 氮化硅坩堝：氮化硅是一種高溫陶瓷材料，它具有良好的高溫強(qiáng)度和耐腐蝕性能。氮化硅坩堝常用于生長氮化鎵和碳化硅等材料。

4. 鋁氧化物陶瓷坩堝：鋁氧化物是一種高溫陶瓷材料，它具有高強(qiáng)度、高耐磨性和優(yōu)異的耐化學(xué)性能。鋁氧化物陶瓷坩堝通常用于生長氮化鋁等材料。

5. 高純度石墨坩堝：高純度石墨坩堝是一種經(jīng)過高溫?zé)Y(jié)處理的高溫材料，它具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性和耐腐蝕性。高純度石墨坩堝通常用于生長鍺和硅等材料。