半導體熔煉坩堝有哪些？

半導體熔煉坩堝是用于半導體晶體生長的關鍵設備，通常由高溫陶瓷材料制成，能夠承受高溫和化學腐蝕。常見的半導體熔煉坩堝包括以下類型：

1. 石英坩堝：石英是一種高純度的無機材料，它具有出色的耐高溫和化學穩定性。石英坩堝常用于硅單晶生長中。

2. 氧化鋯坩堝：氧化鋯是一種高溫陶瓷材料，它具有高強度、高耐磨性和良好的耐化學性。氧化鋯坩堝通常用于生長氮化鎵等化合物半導體材料。

3. 氮化硅坩堝：氮化硅是一種高溫陶瓷材料，它具有良好的高溫強度和耐腐蝕性能。氮化硅坩堝常用于生長氮化鎵和碳化硅等材料。

4. 鋁氧化物陶瓷坩堝：鋁氧化物是一種高溫陶瓷材料，它具有高強度、高耐磨性和優異的耐化學性能。鋁氧化物陶瓷坩堝通常用于生長氮化鋁等材料。

5. 高純度石墨坩堝：高純度石墨坩堝是一種經過高溫燒結處理的高溫材料，它具有優異的導熱性和耐腐蝕性。高純度石墨坩堝通常用于生長鍺和硅等材料。