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波紋膜片在光纖壓力傳感器中的靈敏度如何提升?

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波紋膜片的靈敏度與其幾何參數密切相關。通過仿真優化發現,波高 60μm、波紋寬度 750μm的設計在 0.1MPa 壓力下撓度可達 55μm,配合光纖法布里 - 珀羅腔結構,靈敏度可提升至51802μm/MPa,線性度達 0.9991。相比傳統平膜片,波紋結構通過增加有效形變面積,使壓力 - 位移響應更顯著,適用于微壓高精度測量。



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