鉭靶材的執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)及應(yīng)用場景是什么？

圓靶：直徑 25-400mm，厚度 3-28mm。

方靶：厚度 1-20mm，寬度 10-1000mm。

應(yīng)用：半導(dǎo)體濺射、平板顯示、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域。

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