氧化鋅鋁靶材

1、以鋅鹽和鋁鹽為原料，加純水溶解，調pH至7.0～10.5，然后在水熱條件下，控溫90～140℃反應1.0～2.0小時；

2、過濾使產物和母液分離，用純水洗滌、烘干，得到氧化鋅鋁粉體；

3、所得粉體在400～550℃煅燒2小時；

4、將所得粉體裝入真空熱壓爐，抽真空1～100Pa，加壓50～100MPa，然后慢慢升溫，在1200～1400℃內保溫燒結2～5小時，再緩慢降溫，制得相對密度不低于95%的氧化鋅鋁(ZAO)陶瓷靶材。