如何提高鉻靶的濺射效率？

可以通過優化靶材的制備工藝，提高靶材的致密度和純度，減少內部缺陷，從而提高濺射效率。調整濺射設備的參數，如適當提高濺射功率、優化氣體流量和壓力等，也能提升濺射效率。此外，選擇合適的靶材尺寸和形狀，使其與濺射設備更好地匹配，以及定期對靶材進行表面處理，去除表面氧化層等，都有助于提高鉻靶的濺射效率。

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