半導(dǎo)體離子注入機離子源鎢鉬組件

半導(dǎo)體離子注入機離子源鎢鉬組件是半導(dǎo)體制造工藝的重要組成部分，主要用于離子注入機的離子源部位，實現(xiàn)半導(dǎo)體材料表面改性的高新技術(shù)。寶雞天博金屬材料有限公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體離子注入用高端鎢鉬部件，可以提供鎢高能離子源部件、鎢或鉬的大束流離子注入部件、鉬中束流離子源部件等。在半導(dǎo)體材料摻雜以及金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應(yīng)用，已成為當(dāng)代大規(guī)模集成電路制造環(huán)節(jié)必不可少的手段。