半導體離子注入機離子源鎢鉬組件

半導體離子注入機離子源鎢鉬組件是半導體制造工藝的重要組成部分，主要用于離子注入機的離子源部位，實現半導體材料表面改性的高新技術。寶雞天博金屬材料有限公司生產的半導體離子注入用高端鎢鉬部件，可以提供鎢高能離子源部件、鎢或鉬的大束流離子注入部件、鉬中束流離子源部件等。在半導體材料摻雜以及金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應用，已成為當代大規模集成電路制造環節必不可少的手段。