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鉭基超導(dǎo)芯片的量子相干時(shí)間如何提升至 800 微秒?

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采用原子層沉積技術(shù)(ALD)在硅襯底上生長(zhǎng)鉭薄膜(厚度 20-50nm),通過(guò)優(yōu)化濺射功率(200W)和氬氣流量(5sccm),結(jié)合低溫退火(400℃/2h)消除晶格缺陷,使量子退相干時(shí)間提升 15 倍。


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