鉭材表面氧化膜厚度的無損檢測方法有哪些？

采用橢圓偏振光譜儀（波長 632.8nm）測量 Ta?O?膜厚（精度 ±1nm），或通過 X 射線光電子能譜（XPS）分析氧化態（Ta??占比≥98%）。

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