鉭材表面氧化膜厚度的無(wú)損檢測(cè)方法有哪些？

采用橢圓偏振光譜儀（波長(zhǎng) 632.8nm）測(cè)量 Ta?O?膜厚（精度 ±1nm），或通過(guò) X 射線光電子能譜（XPS）分析氧化態(tài)（Ta??占比≥98%）。

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