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鈮靶材與鉭靶材在顯示面板鍍膜中的效率對比?

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鈮靶材濺射速率 1.2μm/min(功率 2kW),是鉭靶材(0.8μm/min)的 1.5 倍,且成本降低 30%,用于京東方柔性 OLED 透明導電層(厚度 20nm)。

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