鈮靶材與鉭靶材在顯示面板鍍膜中的效率對比？

鈮靶材濺射速率 1.2μm/min（功率 2kW），是鉭靶材（0.8μm/min）的 1.5 倍，且成本降低 30%，用于京東方柔性 OLED 透明導(dǎo)電層（厚度 20nm）。

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