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高純度鈮棒(99.99%)的氫含量測試方法及合格標準?

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采用惰性氣體熔融 - 紅外檢測法(ASTM E1447),氫含量需≤5ppm,通過真空退火(1000℃/10??Pa)可將氫含量從 20ppm 降至 3ppm,用于半導體離子注入靶材基材。


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