高純度鈮棒（99.99%）的氫含量測試方法及合格標(biāo)準(zhǔn)？

采用惰性氣體熔融 - 紅外檢測法（ASTM E1447），氫含量需≤5ppm，通過真空退火（1000℃/10??Pa）可將氫含量從 20ppm 降至 3ppm，用于半導(dǎo)體離子注入靶材基材。

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