鈮管與哈氏合金管在含氟化物溶液中的成本對比？

鈮管在 40% 氫氟酸中壽命 10 年，哈氏合金 C-276 約 3 年，鈮管單價是哈氏合金的 3 倍，但 10 年周期總成本降低 40%，適合光伏蝕刻設備。

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