鈮箔的軋制油殘留量測試方法及合格標(biāo)準(zhǔn)？

采用溶劑萃取 - 紅外光譜法（ASTM D7371），殘留量需≤50mg/m2，通過真空退火（800℃/1h）可降至 10mg/m2，避免半導(dǎo)體鍍膜時的污染。

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