靶材的種類有哪些？

按成分：純金屬靶材、合金靶材、化合物靶材。

按制造工藝：濺射靶材和蒸鍍靶材。

按基體材質(zhì)：鋼基靶材、陶瓷基靶材、玻璃基靶材、硅基靶材、FPC等。

按應用領域：顯示面板用靶材、太陽能電池用靶材、記錄介質(zhì)用靶材、裝飾鍍層用靶材、磁頭用靶材、芯片用靶材、薄膜電路用靶材、精密光學用靶材、飾品用靶材、導電膜用靶材、催化劑用靶材等。

按靶材形態(tài)：方形靶、圓形靶、扇形靶、條形靶、環(huán)型靶、管狀靶、異性靶等。

按表面光滑度：粗糙靶、光亮靶。