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什么是掩膜版?

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掩膜版是一種在印刷和制造電路板等領域中常用的工具。它通常由透明或半透明的材料制成,用于在表面覆蓋或覆蓋在需要保護或處理的區域上。在印刷術語中,掩膜版用于在印刷過程中將油墨或涂料應用到特定的區域,以便在印刷的最終產品上形成所需的圖案或文本。

在電路板制造中,掩膜版用于在電路板上覆蓋阻焊層或焊膏層,以保護或定義電路的特定部分。這種掩膜通常是通過光刻或者絲網印刷的方式制作而成,具體的制作過程會根據應用和需求的不同而有所不同。

掩膜版在工業生產中扮演著重要角色,幫助確保產品的質量和一致性,同時也提高了生產效率。



掩膜版的主要用途和制造步驟如下:

  1. 設計和制作:首先根據設計需求在掩膜版上繪制出電路圖案。這些圖案通常是通過電子束光刻(E-beam lithography)或其他高精度光刻方法在掩膜版上形成的。

  2. 光刻工藝:在半導體制造過程中,將掩膜版放置在光刻機中,使光通過掩膜版的圖案部分照射到涂有光刻膠(photoresist)的晶圓表面。光刻膠被光曝光的部分會發生化學變化。

  3. 顯影:經過顯影步驟,被光曝光的光刻膠部分被去除,留下未曝光部分,從而形成與掩膜版圖案相對應的光刻膠圖案。

  4. 刻蝕和離子注入:隨后可以進行刻蝕或離子注入等工藝,將圖案轉移到晶圓的基底材料上,從而形成微電子器件的結構。

  5. 清洗和重復:去除殘留的光刻膠后,繼續進行下一層圖案的制作,重復上述步驟,直至整個電路結構完成。


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