鎢擋板 離子注入機配件有哪些？

鎢擋板和離子注入機配件是離子注入技術的重要組成部分。以下是一些常見的離子注入機配件及其功能：

鎢擋板主要用于以下幾個方面：

• 保護：保護離子注入機的敏感部件免受離子束的直接沖擊。

• 束流控制：控制和引導離子束的方向和形狀，確保離子束均勻地注入到樣品表面。

1. 離子源（Ion Source）：

   • 熱離子源：通過加熱固體材料產生離子。

   • 等離子體離子源：利用等離子體產生離子。

2. 加速器（Accelerator）：

   • 加速離子達到所需的能量，通常包括電場和磁場組件。

3. 束流掃描系統（Beam Scanning System）：

   • 通過電磁場控制離子束在樣品表面的掃描，以確保均勻分布。

4. 注入室（Implantation Chamber）：

   • 真空環境，減少空氣分子的干擾，確保離子束的穩定性。

5. 樣品臺（Sample Stage）：

   • 固定和定位樣品，通常可進行旋轉和移動，以實現多角度注入。

6. 冷卻系統（Cooling System）：

   • 防止樣品和設備過熱，確保注入過程穩定。

7. 電源供應（Power Supply）：

   • 為離子源、加速器和掃描系統提供穩定的電力。

8. 控制系統（Control System）：

   • 包括計算機和軟件，用于監控和控制整個離子注入過程。

9. 真空系統（Vacuum System）：

   • 包括真空泵和真空閥，用于維持注入室的低壓環境。

10. 屏蔽裝置（Shielding）：

    • 防止輻射泄漏，保護操作人員和環境。

1. 真空計（Vacuum Gauge）：

   • 用于監測注入室內的真空度。

2. 氣體供應系統（Gas Supply System）：

   • 在需要氣體輔助注入時提供所需的氣體。

3. 診斷設備（Diagnostic Equipment）：

   • 如質譜儀、X射線光電子能譜（XPS）等，用于分析注入效果和材料成分。

4. 隔離閥（Isolation Valve）：

   • 用于在不同工作階段隔離真空系統。

5. 注入掩模（Implantation Mask）：

   • 用于控制離子注入的區域和圖案。