鎢擋板 離子注入機(jī)配件有哪些？

鎢擋板和離子注入機(jī)配件是離子注入技術(shù)的重要組成部分。以下是一些常見(jiàn)的離子注入機(jī)配件及其功能：

鎢擋板主要用于以下幾個(gè)方面：

• 保護(hù)：保護(hù)離子注入機(jī)的敏感部件免受離子束的直接沖擊。

• 束流控制：控制和引導(dǎo)離子束的方向和形狀，確保離子束均勻地注入到樣品表面。

1. 離子源（Ion Source）：

   • 熱離子源：通過(guò)加熱固體材料產(chǎn)生離子。

   • 等離子體離子源：利用等離子體產(chǎn)生離子。

2. 加速器（Accelerator）：

   • 加速離子達(dá)到所需的能量，通常包括電場(chǎng)和磁場(chǎng)組件。

3. 束流掃描系統(tǒng)（Beam Scanning System）：

   • 通過(guò)電磁場(chǎng)控制離子束在樣品表面的掃描，以確保均勻分布。

4. 注入室（Implantation Chamber）：

   • 真空環(huán)境，減少空氣分子的干擾，確保離子束的穩(wěn)定性。

5. 樣品臺(tái)（Sample Stage）：

   • 固定和定位樣品，通常可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)多角度注入。

6. 冷卻系統(tǒng)（Cooling System）：

   • 防止樣品和設(shè)備過(guò)熱，確保注入過(guò)程穩(wěn)定。

7. 電源供應(yīng)（Power Supply）：

   • 為離子源、加速器和掃描系統(tǒng)提供穩(wěn)定的電力。

8. 控制系統(tǒng)（Control System）：

   • 包括計(jì)算機(jī)和軟件，用于監(jiān)控和控制整個(gè)離子注入過(guò)程。

9. 真空系統(tǒng)（Vacuum System）：

   • 包括真空泵和真空閥，用于維持注入室的低壓環(huán)境。

10. 屏蔽裝置（Shielding）：

    • 防止輻射泄漏，保護(hù)操作人員和環(huán)境。

1. 真空計(jì)（Vacuum Gauge）：

   • 用于監(jiān)測(cè)注入室內(nèi)的真空度。

2. 氣體供應(yīng)系統(tǒng)（Gas Supply System）：

   • 在需要?dú)怏w輔助注入時(shí)提供所需的氣體。

3. 診斷設(shè)備（Diagnostic Equipment）：

   • 如質(zhì)譜儀、X射線光電子能譜（XPS）等，用于分析注入效果和材料成分。

4. 隔離閥（Isolation Valve）：

   • 用于在不同工作階段隔離真空系統(tǒng)。

5. 注入掩模（Implantation Mask）：

   • 用于控制離子注入的區(qū)域和圖案。