影響鎢濺射靶材耐磨性和抗變形能力的因素有哪些？

材料特性：

純度：純度高雜質(zhì)少，晶體結(jié)構(gòu)完整，耐磨性與抗變形能力強(qiáng)，雜質(zhì)多易在晶界引發(fā)問題。

晶粒尺寸：細(xì)小均勻晶粒可增晶界面積，阻礙位錯運動，提升性能；粗大晶粒則相反。

相組成：不同相比例與分布影響性能，合適相組成能強(qiáng)化材料。

制備工藝：

粉末制備方法：如霧化法、機(jī)械合金化法影響粉末粒度、形狀等，進(jìn)而影響靶材性能。

燒結(jié)工藝：燒結(jié)溫度、壓力、時間不當(dāng)會致晶粒長大或產(chǎn)生缺陷，合理參數(shù)可提致密度。

加工工藝：冷、熱加工工藝若參數(shù)有誤，會使組織不均，影響性能。

使用環(huán)境：

濺射功率：功率大轟擊強(qiáng)、溫度高，易改變靶材表面結(jié)構(gòu)，致磨損變形。

工作溫度：高溫使鎢原子熱運動加劇、強(qiáng)度硬度降低，加速晶粒長大。

濺射氣氛：氣體種類、壓力影響靶材，活性氣體易致表面化學(xué)反應(yīng)。

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