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如何提升鎢濺射靶材的純度?

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原料選擇:挑選 99.95% 以上純度的原料,如鎢精礦、仲鎢酸銨,并用化學沉淀、離子交換等法預處理,去除雜質。

粉末制備:

還原工藝:精確控制氫氣還原鎢氧化物時的溫度、流量、露點,800 - 1000℃搭配 - 40℃以下露點,或采用多級還原,制細粒度高純鎢粉。

先進技術:用等離子體法、機械合金化法,前者能防雜質引入,后者利于后續除雜。


燒結過程:

助劑選用:少用或選高純低雜燒結助劑,嚴控添加量。

工藝優化:選真空燒結(真空度 10?3 - 10??Pa)或高純氫氣保護燒結(氫氣純度 99.99% 以上),減少污染。


后續處理:以化學或電解拋光去除靶材表面雜質、氧化層,并用 ICP-MS、XRF 等檢測篩選,保障純度。

寶雞天博金屬在金屬材料加工行業內深耕多年,產品保質保量,致力于服務好每位客戶,歡迎各位客戶隨時來電咨詢:13347285481陳(WX同號)

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