如何提升鎢濺射靶材的純度？

原料選擇：挑選 99.95% 以上純度的原料，如鎢精礦、仲鎢酸銨，并用化學(xué)沉淀、離子交換等法預(yù)處理，去除雜質(zhì)。

粉末制備：

還原工藝：精確控制氫氣還原鎢氧化物時(shí)的溫度、流量、露點(diǎn)，800 - 1000℃搭配 - 40℃以下露點(diǎn)，或采用多級(jí)還原，制細(xì)粒度高純鎢粉。

先進(jìn)技術(shù)：用等離子體法、機(jī)械合金化法，前者能防雜質(zhì)引入，后者利于后續(xù)除雜。

燒結(jié)過(guò)程：

助劑選用：少用或選高純低雜燒結(jié)助劑，嚴(yán)控添加量。

工藝優(yōu)化：選真空燒結(jié)（真空度 10?3 - 10??Pa）或高純氫氣保護(hù)燒結(jié)（氫氣純度 99.99% 以上），減少污染。

后續(xù)處理：以化學(xué)或電解拋光去除靶材表面雜質(zhì)、氧化層，并用 ICP-MS、XRF 等檢測(cè)篩選，保障純度。

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