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半導(dǎo)體外延生長過程里，鎢舟如何保障襯底受熱均勻？

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鎢舟自身材質(zhì)熱導(dǎo)率高，能快速傳導(dǎo)熱量，使得放入其中的半導(dǎo)體襯底各個(gè)部位在高溫爐環(huán)境下近乎同步升溫。同時(shí)，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，舟體表面平整光滑，利于熱量均勻分布，避免出現(xiàn)局部過熱或過冷現(xiàn)象，為外延生長提供穩(wěn)定、均勻的熱環(huán)境，有助于生長出晶體結(jié)構(gòu)完美、電學(xué)性能一致的外延層。

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