鎢舟自身材質熱導率高,能快速傳導熱量,使得放入其中的半導體襯底各個部位在高溫爐環境下近乎同步升溫。同時,其結構設計經過優化,舟體表面平整光滑,利于熱量均勻分布,避免出現局部過熱或過冷現象,為外延生長提供穩定、均勻的熱環境,有助于生長出晶體結構完美、電學性能一致的外延層。
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