純度≥5N(99.999%)可顯著降低雜質(zhì)引起的電學(xué)缺陷,如 Fe/Ni 等金屬雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致 PN 結(jié)漏電流增大。
案例:某芯片廠使用 5N 鉻靶材后,肖特基二極管反向漏電流從 1.2μA/cm2 降至 0.8μA/cm2。
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