解決方案:
選擇密度≥7.1g/cm3 的靶材(理論密度 98% 以上)
優(yōu)化濺射參數(shù):降低功率密度至 2W/cm2,增加 Ar 氣流量至 20sccm
案例:某光學(xué)企業(yè)通過以上措施,膜層顆粒缺陷率從 0.3% 降至 0.05%。
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