創新方向:
納米多孔 Cr?O?膜用于 NO?氣體傳感器,響應時間<10 秒
濺射 Cr/Pt/TiO?復合膜,實現壓力傳感器溫度補償(精度 ±0.1% FS)
測試數據:在 85℃/85% RH 環境下,傳感器壽命>5000 小時。
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