電解拋光:
電解液:H?SO?:H?PO?=3:1,電流密度 10-20A/dm2
效果:粗糙度 Ra≤0.2μm,反射率>90%
化學蝕刻:
蝕刻液:HNO?:HF=5:1,蝕刻速率 0.1-0.3μm/min
應用:顯示面板蒸鍍掩模板圖形加工
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