技術(shù)方案:
控制氧含量<100ppm(靶材)+ 濺射前 Ar 氣吹掃(純度 99.999%)
引入反應(yīng)濺射(O?流量 5-10sccm)形成 Nb?O?保護膜
測試數(shù)據(jù):膜層氧化度<2%(XPS 分析)
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