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真空鍍膜舟的材質如何選擇?

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需根據蒸發材料的熔點、活性及工藝環境(真空 / 惰性氣體)決定。例如:

高熔點金屬(如鎢、鈦):選鎢舟或碳 - 碳復合材料舟,耐高溫且蒸氣壓低。

中低熔點金屬(如鋁、銅):鉬舟或石墨舟成本更低,但石墨需控制氧氣避免氧化。

活性金屬(如鉭、鈮):優先選擇鉭舟或涂層鎢舟(如碳化鎢涂層),減少化學反應。


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