微型膜片(如直徑小于 1mm)需超薄材料(0.008mm 以下)和高精度工藝,如激光切割或電成型技術(shù)。制造難點(diǎn)包括材料均勻性控制、微小波紋的成型精度及焊接密封性。例如,航空電子設(shè)備中的微型膜片需滿足泄漏率低于 1×10^-11 標(biāo)準(zhǔn)壓 cc / 秒。?
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