鉬及鉬合金管靶的執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)是什么？

關(guān)鍵指標(biāo)：

圓度偏差≤0.1mm，直線度≤0.5mm/m。

致密度≥99.5%，表面粗糙度 Ra≤0.8μm。

化學(xué)成分：Mo≥99.95%，O≤0.05%。

意義：實(shí)現(xiàn)高清顯示、柔性半導(dǎo)體用鉬靶材國產(chǎn)化替代。

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