鉬及鉬合金管靶的執行標準是什么？

關鍵指標：

圓度偏差≤0.1mm，直線度≤0.5mm/m。

致密度≥99.5%，表面粗糙度 Ra≤0.8μm。

化學成分：Mo≥99.95%，O≤0.05%。

意義：實現高清顯示、柔性半導體用鉬靶材國產化替代。

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