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鉭棒在半導體行業有什么特殊用途

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在半導體行業,鉭棒主要用于制造濺射靶材。鉭靶材在半導體芯片制造過程中,可通過濺射工藝在晶圓表面沉積鉭薄膜,用于形成金屬互連層、阻擋層等關鍵結構,以提高芯片的性能和可靠性。


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