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鈮靶材的綁定工藝(In 釬焊)溫度及壓力控制?

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釬焊溫度 230℃,壓力 0.1MPa,保溫 10min,可使靶材與銅背靶的結合強度>20MPa,避免濺射時因熱應力脫落,用于 LCD 鍍膜機。

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