晶圓離子注入鎢鉬配件的作用是什么？

晶圓離子注入鎢鉬配件的作用是在制造半導體器件時用作離子注入的掩模。離子注入是一種重要的半導體加工技術，用于在半導體晶片表面引入摻雜物，從而改變其電學性質。鎢鉬配件通常用于制作掩模，因為它們具有高熔點、良好的化學穩定性和機械強度，能夠在離子注入過程中承受高溫和化學腐蝕的環境。這些配件的設計和制造質量對于確保離子注入過程的精確性和可靠性至關重要。