晶圓離子注入鎢鉬配件的作用是什么？

晶圓離子注入鎢鉬配件的作用是在制造半導(dǎo)體器件時(shí)用作離子注入的掩模。離子注入是一種重要的半導(dǎo)體加工技術(shù)，用于在半導(dǎo)體晶片表面引入摻雜物，從而改變其電學(xué)性質(zhì)。鎢鉬配件通常用于制作掩模，因?yàn)樗鼈兙哂懈呷埸c(diǎn)、良好的化學(xué)穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度，能夠在離子注入過(guò)程中承受高溫和化學(xué)腐蝕的環(huán)境。這些配件的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量對(duì)于確保離子注入過(guò)程的精確性和可靠性至關(guān)重要。