實(shí)驗(yàn)需求:
樣品情況:樣品大或多,選大尺寸、大容量鎢舟,防擠壓碰撞。如半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)處理多襯底時(shí)。
實(shí)驗(yàn)溫度:高溫實(shí)驗(yàn),超 2000℃的,挑高純度、厚壁鎢舟,穩(wěn)定性強(qiáng)。
蒸發(fā)材料:熔點(diǎn)高的,像鎢、鉬,用耐高溫、厚且純的鎢舟;蒸氣壓高的,關(guān)注舟形狀結(jié)構(gòu)。
設(shè)備適配:
鍍膜設(shè)備:電子束、熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備對(duì)鎢舟尺寸、形狀要求不同,前者重聚焦精度,后者看加熱效率與均勻性。
真空腔:依真空腔大小選鎢舟,要能放入、與壁和部件留距,且裝卸便捷。
加熱方式:電阻加熱選與電極適配的,保接觸良好;輻射加熱考慮舟對(duì)熱量吸收分布影響。
成本效率:
實(shí)驗(yàn)頻率:高頻次實(shí)驗(yàn)用質(zhì)量好、壽命長(zhǎng)的,雖采購(gòu)成本高,但減少更換、提效降本;偶爾做的可選低價(jià)普通鎢舟。
預(yù)算限制:按預(yù)算選,在滿足基本要求下挑性價(jià)比高的,多比較供應(yīng)商產(chǎn)品。
還可參考他人經(jīng)驗(yàn)、文獻(xiàn),或與供應(yīng)商溝通獲專業(yè)建議
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