實驗需求:
樣品情況:樣品大或多,選大尺寸、大容量鎢舟,防擠壓碰撞。如半導體外延生長處理多襯底時。
實驗溫度:高溫實驗,超 2000℃的,挑高純度、厚壁鎢舟,穩(wěn)定性強。
蒸發(fā)材料:熔點高的,像鎢、鉬,用耐高溫、厚且純的鎢舟;蒸氣壓高的,關注舟形狀結(jié)構。
設備適配:
鍍膜設備:電子束、熱蒸發(fā)鍍膜設備對鎢舟尺寸、形狀要求不同,前者重聚焦精度,后者看加熱效率與均勻性。
真空腔:依真空腔大小選鎢舟,要能放入、與壁和部件留距,且裝卸便捷。
加熱方式:電阻加熱選與電極適配的,保接觸良好;輻射加熱考慮舟對熱量吸收分布影響。
成本效率:
實驗頻率:高頻次實驗用質(zhì)量好、壽命長的,雖采購成本高,但減少更換、提效降本;偶爾做的可選低價普通鎢舟。
預算限制:按預算選,在滿足基本要求下挑性價比高的,多比較供應商產(chǎn)品。
還可參考他人經(jīng)驗、文獻,或與供應商溝通獲專業(yè)建議
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