鉭靶廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造(如銅互連阻擋層)、光學(xué)鍍膜(如減反射膜)、航空航天(高溫部件涂層)、醫(yī)療器械(植入物表面處理)及化工設(shè)備(耐腐蝕內(nèi)襯)等領(lǐng)域。其高熔點(diǎn)、耐腐蝕性及生物相容性是關(guān)鍵優(yōu)勢。
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