原材料提純:采用電子束熔煉或區(qū)域熔煉技術(shù),使鉭純度達 99.95%(3N95)以上。
雜質(zhì)檢測:通過 ICP-MS 或 GD-MS 監(jiān)測 W、Mo、Nb 等痕量雜質(zhì)(半導(dǎo)體級要求≤0.4ppm)。
工藝優(yōu)化:在惰性氣體環(huán)境中操作,避免氧化及污染。
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